业务经验
某新型半导体器件开发工业中小企业地处长半圆东南部,主要产量晶圆和鑫霖环保芯片。在产量步骤中,晶圆裁割和打磨时段.呈现许多磨细液电镀废水,每日产生量约50吨。随着电镀废清水中富含高溶液浓度悬浮物物、不锈钢铁离子及有机的填加剂,随时产生会对学习环境会造成难治被污染的,工业中小企业急缺设计专业的净化处理公共设施。
废渣化学物质及因素
机磨液废水处理方法通常來缘于晶圆粗加工中的物理化学自动化抛光处理(CMP)程序,通常废弃物物还包括:
漂浮粒状物
:二空气氧化物硅、空气氧化物铝等精磨粒子,颗粒直径在0.1-1μm,质量浓度更是高达2000mg/L。
不锈钢化合物
:铜、铁、锌等,出于拋光垫磨损情况及晶圆表层塑料层,铜阳离子溶度约50mg/L。
有机物放入剂
:以及外观活性氧剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性的物质
:pH值波动性大,一般 在2-11区间内。
进行处理生产工艺步骤图
面对废液特质,用到“预净化工作+生化模式+角度净化工作”结合加工:
调低池
:教育均衡发展水质量的水量,更改耐酸碱可以调节pH至弱酸性。
混疑结晶
:加药PAC(配位聚氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),清除飘浮物和橡胶胶体部分,沉降后SS清除率>90%。
离子液体防氧化
:主要包括Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)吸附有机酸插入剂,COD洗去率达60%。
生物工程清理
:MBR膜菌物的膜生物反应器进步分解其他无机物,COD低于100mg/L这。
铁离子互换
:专业树脂胶气体吸附铜阴阳离子,冒水铜含磷量<0.5mg/L。
砂滤+灵活性炭脱水器脱水
:为了确保出液清亮,起到《污水摆放合理摆放基准》(GB8978-1996)一级通过成绩基准。
以后目的
系统软件运作增强后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。
工业生活污水处理率达40%,已用不合格释放,年限制生活污水释放1.20万吨。
除理成本费约15元/吨,远不超过服务业一般。