某半导体材料厂在研发期间中用到氯化铵系显影液液，发生高密度含NOx生活污水，日治理 量50吨。生活污池里含NO2-高达模型2000mg/L，且包含有少量有机的光刻胶营养成分，治理 分值较多。 2. 污水组分及原因 显影液多种工序电镀废水（一般严重室外空气污染物） 晶圆冲洗生产废水 印刷废气洗衣塔排水性 3. 加工的工艺工作流程 应用"中高级腐蚀+多级微生物补救"自主创新工艺流程： O3阳极氧化 ：借助三氧形成器生产O3，将难溶解苯的同系物物细化为小分子式物资，的同时将NO2-阳极氧化为NO3-。 海洋生物膜想法器（MBR） ： 首位级：星球基地区域环境下加药甲醇看作碳源，推进反硝化细菌不起作用 第二种级：好氧生态学膜进的一步吸附有机化学物 电无机化学深层加工 ：进行钛基涂覆探针，进行电解设备的作用根除化解残留造成的排放物。 4. 终结疗效 NOx总氮减至8mg/L下面 COD维持在30mg/L范围之内 污水使用率达60% 系统性启用用电量把控在3.5kWh/吨水，较经典艺节约20%。